반도체 사업장 내 인체에 유해한 독성가스나 유기화합물에 노출된 작업자들의 안전과 장비 보호를 효율적이고 체계적으로 관리할 수 있는 장비가 등장했다.

㈜엑선은 반도체 사업장 내 사용하는 수많은 산업용 가스(Gas)와 유기 화합물(Chemical), 그리고 그 부산물(Byproduct)을 실시간으로 완벽히 측정하고 분석하는 '실시간 대기 환경 측정 및 분석 시스템'인 을 개발했다고 16일 밝혔다.

 반도체 사업장 내에서는 반도체 웨이퍼를 제조하기 위해 각종 Gas 및 유기화합물(액상 화학물질)을 사용하고 있다.

이 중에는 화재·폭발의 위험성뿐만 아니라 인체에 유해한 독성가스 및 유기화합물이 많아 그간 작업자들의 안전에 위협이 돼 왔다.

대다수 사업장에는 가스의 누출(Leak)에 대해서는 가스감지시스템이 구축돼 있어, 화재·폭발 및 작업자의 흡입중독 등의 안전사고를 사전에 예방하는데 활용하고 있다.

그러나 유기화합물의 경우에는 별도의 감지시스템이 구축되어 있지 않으며, 다만 산업안전보건법상의 직업환경측정을 통한 관리 및 개선을 진행하고 있다.

이처럼 그동안 반도체 작업장 내 Gas누출에 따른 유해물질은 원인 규명이 어느 정도 가능했지만, 유기화합물 및 부산물에 의한 유해물질은 원인 규명은 어려웠었다.

이 상준 엑선 대표는 "IR-GUARD System은 Gas 및 유기화합물 그리고 부산물(Byproduct)에 대한 실시간 온라인 측정(Measurement) 및 분석(Analysis), Fab내 대기 상태의 유해물질 측정 및 분석 등을 통해 유해물질 발생 근원을 사전에 차단한다"고 설명했다.

이어 "그 동안 반도체 제조 공정에 원인 규명이 어려운 유해 물질이 많이 발생했다"며 "앞으로 IR-GUARD System을 통해 반도체 근로자들이 유해한 독성가스나 유기화합물 노출에 효율적이고 체계적으로 대응할 수 있다"고 자신했다.