반도체 산업에서 사용하는 화학물질의 위험성에 대한 염려가 지속되고 있으며 해당 회사는 보다 능동적인 관리방법을 모색해야 한다는 지적이 나왔다.

23일 삼성노동인권지킴이와 노동환경건강연구소 주최로 서울 프란치스코회관에서 열린 ‘삼성직업병 올바른 해결방안 마련’ 토론회에서 윤충식 서울대 보건대학원 교수는 반도체 산업은 화학물질의 종류가 많고, 영업비밀 물질이 많으며 반응성이 큰 물질의 사용되어 고에너지 원과 같이 사용하는 등의 특성이 있다며 이같이 밝혔다.

윤 교수는 “단 하나의 2 그램짜리 칩(32MB DRAM)을 생산하기 위해 1600g의 화석연료와 72 g의 화학물질, 32000g의 물, 700 g의 가스를 사용한다”며 “반도체 산업에서 사용되는 화학물질은 그 종류도 많고 건강영향이 잘 알려져 있지 않은 것들이 많이 있다”고 설명했다.

이어 “fab공정에서는 518개 제품에, 263개의 물질이 사용되고 있고, Package 공정에는 76개의 제품에 65개의 화학물질이 사용되고 있다”며 “이중 실제 작업환경 측정을 하는 물질은 fab에서 약 10%, package에서 약 20%정도만 모니터링 될 뿐”이라고 지적했다.

그러면서 “반도체 산업에 영업비밀 물질이 많이 포함된 것이 특징”이라며 “fab공정에서 233개 제품(44.64%)이 영업비밀 물질을 포함하고 있으며, 그중 화학물질의 정보나 함량이 전혀 표기되지 않은 제품 15개를 포함하고 있고, package 공정에서는 43개의 제품(55.84%)이 영업비밀물질을 포함하고 있다 ”고 덧붙였다.

더불어 윤 교수는 반도체에서 사용되는 화학물질은 또한 고에너지(자외선, 고온, 플라스마)같은 고에너지 상태에서 사용되어 원료물질은 아니더라도 다양한 부산물로 발생될 수 있다.“고 우려했다.

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